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新物理气相堆积利用的孔板流量计流量节制

作者: 来源: 公布时候:2019-08-27 10:37:24
你晓得阳极氧化和发蓝的一个问题吗?固然它可以避免腐蚀,但它可以刮失落。年夜多数阳极氧化不会强化大要。镀铬是另外一种挑选,但铬-6是有毒的,仍然可以磨损,凹坑和剥落。真空堆积体系制造商Duralar希望利用物理气相堆积开辟一种疾速的类金刚石涂层工艺,这类工艺比任何一种都更硬,更耐用。它可用于避免金属部件的腐蚀,腐蚀和磨损。
 
假定,像Duralar一样,您是物理气相堆积立异者。只是为了让糊口变得风趣,让我们假装你没有没有穷的时候,并且金钱不会在树上生长(!)。研发意味着测试,许可新的隔绝和反应气体配方。您需求改变流量比和蔼体 - 同时保持精确的流量,是以成功将是可反复的。您不克不及继续为每次测试采办新的真空流量孔板流量计,并且您无法承担从头校准每个新配方的停机时候。你获得了照片。
 
Duralar开端利用通用真空堆积体系,但六个内置热孔板流量计中没有一个针对其特别气体四甲基硅烷(TMS)(汽化液体)进行校准。究竟是,这些孔板流量计无法精确地改换气体,无需从头校准的停机时候。所以Duralar打德律风给Alicat。固然TMS不在我们的标准清单上,但经由过程一些工程设想,我们为它们供应了耐腐蚀流量孔板流量计,并为TMS定制了气体校准。
 
他们利用孔板流量计改革了他们的体系 - 它是一个替代品 - 他们现在可以确保他们的TMS流量的精确性将保持很高,不管是满量程流量还是低于满量程的0.5%。这是因为Alicat的气体挑选不但仅是单点的k因子偏移,而是基于NIST粘度表的完零件能曲线。瞻望将来,Duralar无需担忧因工厂温度或压力转变而导致的不精确性,因为孔板流量计中的闭环传感器可赔偿体积转变 - 与原始热孔板流量计不合。
 
不久,Duralar正在经由过程将腔室抽真空来生产涂层部件,在刚好适当的气体中活动,增加质料蒸汽并将其转化为与部件连络的等离子体。在物理气相堆积中,需求真空,因为化学物质在年夜气气体存鄙人不起感化。
一体化孔板流量计.jpg
接上去,他们想开辟一种在管子和管道内堆积这类薄涂层的工艺。在管道外部涂层,可以减少磨损和腐蚀 - 非常适合在管道中活动研磨液,或庇护步枪枪管外部免于生锈。该技术很奇妙:密封管的末端,管的外部成为真空室。需求的是,您需求可以或许改变窄管内产生等离子体的放电地位,以获得完整的涂层。是以,更多的原型设想,更多的尝试和Alicat再次挽救。
 
经由过程利用MCS流量孔板流量计用于腐蚀性TMS和别的两个Alicat MC 孔板流量计,他们可以或许随便改换气体,从多达98种内置范例和20种用户可定制的异化物中进行挑选 - 乃至更多的腐蚀- 孔板流量计。
 
然后,他们利用我们可下载的LabVIEW驱动法度来构建真空工艺步调,从长途条记本电脑节制MFC及其封闭电磁阀。在恰当的时候,他们完美了这个过程,并开端建立涂层体系。现在,您可以为您的金属零件订购近似钻石的涂层 - 或为其他人供应办事体系 - 真空镀膜比阳极氧化更耐用,同时比镀铬更快更硬。因为Alicat的流量孔板流量计适应性,物理气相堆积变得愈来愈好。
相关保举:雷达液位计电磁流量计

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